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SAT テクノロジー?ショーケース2014 ベスト研究交流賞
理工学群 新井 香裕
学生?大学院生
理工学群工学システム学類4年生の新井香裕氏(阿部豊教授および金子暁子准教授指導)が、平成26年1月24日につくば国際会議場で開催されたSAT テクノロジー?ショーケース2014にて行った発表「高濃度オゾン水を用いた半導体洗浄システムの開発」により、ベスト研究交流賞を受賞しました。新井香裕氏は発表で、オゾン水を用いた半導体洗浄において洗浄効果の定量化と,洗浄に及ぼす流動構造の解明,さらにベンチュリ管を用いた際の洗浄効果の評価を行いました。審査の結果、発表内容およびプレゼンテーションについて最も異分野交流の成果が上がっていると評価を受け、ベスト研究交流賞が授与されました。